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高精度測(cè)量：在測(cè)量精度方面，MPO 表現(xiàn)。在 0 - 50μm 測(cè)量范圍內(nèi)，誤差控制在 ±1μm；50 - 1000μm 時(shí)，誤差≤±2%；1000 - 2000μm 區(qū)間，誤差≤±3%。重復(fù)精度在 0 - 100μm 為 ±0.5μm，＞100μm 時(shí)為 ±0.5%。如此高精度的測(cè)量性能，能夠滿足眾多對(duì)涂層厚度精度要求嚴(yán)苛的行業(yè)需求。

小尺寸測(cè)量能力：最小測(cè)量面直徑可達(dá) Φ4mm（在允許誤差 < 10% 時(shí)，為 Φ2mm），最小測(cè)量曲率在精度范圍內(nèi)，鐵基為 ρ35mm，非鐵基為 ρ50mm；在允許誤差 < 10% 時(shí)，鐵基可低至 ρ10mm，非鐵基為 ρ2mm。這使得 MPO 能夠?qū)σ恍┚哂袕?fù)雜形狀和小尺寸的工件進(jìn)行精確測(cè)量，擴(kuò)大了其應(yīng)用范圍。

薄基體測(cè)量適應(yīng)性：對(duì)于薄基體材料，MPO 同樣具備良好的測(cè)量能力。在鐵基材料上，可測(cè)量的最薄基體厚度為 0.2mm（誤差小于 10% 時(shí)）；非鐵基材料為 90μm（誤差小于 10% 時(shí)）。這一特性使其在處理一些特殊材料或?qū)w厚度有嚴(yán)格要求的測(cè)量任務(wù)中具有明顯優(yōu)勢(shì)。